激光三维纳米光刻技术及其在智慧医疗、智能芯片和新能源等领域的应用

廖常锐，教授，博士生导师，国家优秀青年科学基金获得者，国家重点研发计划项目首席科学家，广东省杰出青年科学基金获得者，深圳市超快激光微纳制造重点实验室主任，广东省光纤传感技术粤港联合研究中心副主任。本科和硕士毕业于华中科技大学，博士毕业于香港理工大学，2012年加入深圳大学物理与光电工程学院，历任讲师、副教授和教授。

研究方向：超快激光三维纳米光刻技术及其在智慧医疗、智能芯片和新能源领域的应用。主持国家重点研发计划项目1项、国家自然科学基金项目4项、省市级重点项目6项和华为技术开发等项目；以第一/通讯作者在Light Science & Applications、Laser & Photonics Reviews、Nano Letters等期刊上发表SCI论文80余篇，SCI总引8000余次，H指数53；授权中国发明专利20项、美国专利4项；研究成果被国家自然科学基金委、美国物理学联合会和美国科学促进会报道。荣获2022年度教育部自然科学奖二等奖、2017年度深圳市自然科学奖一等奖、2022年度广东省光学学会光学科技奖一等奖，2019-2024入选全球前2%顶尖科学家终身科学影响力榜单。培养博士研究生10名、硕士研究生22名，指导多名研究生获得全国光学工程学科优秀博士学位论文提名奖、王大珩光学奖学生奖和国家奖学金。

常年招收对激光三维纳米光刻技术感兴趣的硕士、博士研究生、博士后、专职研究员，也欢迎对科研感兴趣的本科生加入课题组。广东省光纤传感技术粤港联合研究中心（网站：http://cofs.szu.edu.cn）拥有良好的实验条件和浓厚的学术氛围，欢迎各位有志于激光智能制造领域学术研究和深造的青年学子加入我们。

地址：广东省深圳市南山区南海大道3688号深圳大学粤海校区光电所

E-mail: cliao@szu.edu.cn

一、科研项目：

[1] 国家优秀青年科学基金项目：光纤微结构生物传感技术，批准号：62122057，2022-2024，主持

[2] 国家重点研发计划项目：氢敏高分子材料与光纤MOEMS氢气传感器的设计开发，批准号：2024YFB4613700，2024-2027，主持

[3] 国家自然科学基金面上项目：基于光纤端面微悬臂梁的生物传感机理与关键技术研究，批准号：62075136，2021-2024，主持

[4] 国家自然科学基金面上项目：飞秒激光湿法刻蚀技术制备光纤微流传感器，批准号：61575128，2016-2019，主持

[5] 国家自然科学基金青年基金项目：基于微纳光纤布拉格光栅的光开关研究，批准号：61308027，2014-2016，主持

[6] 广东省杰出青年科学基金项目：飞秒激光直写光纤表面波导生物传感器，批准号：2018B030306003，2018-2022，主持

[7] 广东省粤佛联合基金重点项目：基于光纤端面微悬臂梁的氢气传感机理与关键技术研究，批准号：2022B1515120061，2022-2025，主持

[8] 广东省国际科技合作项目：面向细菌抗药性研究的光纤生物传感芯片，批准号：2020A0505100066，2020-2022，主持

[9] 广东省自然科学基金面上项目：超快激光高效制备光纤光栅技术及其在氢气检测中的应用，批准号：2015A030313541，2015-2018，主持

[10] 深圳市重点实验室组建项目：深圳市超快激光微纳制造重点实验室，2023-2025，主持

[11] 深圳市基础研究创新人才培养项目（深圳市优青）：光纤型纳米力学生物检测技术，批准号：RCYX20200714114524139，2021-2024，主持

[12] 深圳市基础研究重点项目：基于半导体纳米线的日盲紫外激光及其在环境检测中的研究，批准号：JCYJ20200109114001806，2020-2023，主持

[13] 华为技术有限公司技术攻关项目：飞秒激光刻写PLC布拉格光珊技术合作项目，2021-2023，主持

二、十篇代表性论文（第一作者或通讯作者）：

[1] Fiber-tip polymer clamped-beam probe for high-sensitivity nanoforce measurements, Light: Science & Applications 10, 2047, 2021. （3D打印MEMS传感器）

[2] Hydrogen-Sensitive Inks with 4D Printing of a Fiber-Tip Hydrogen Microsensor, Laser & Photonics Reviews 2400179, 2024. (4D打印氢气传感器)

[3] Design and realization of 3D printed fiber-tip microcantilever probes applied to hydrogen sensing, Light: Advanced Manufacturing 3, 5, 2022. （3D打印氢气传感器，期刊封面）

[4] Ultrafast Laser 3D Nanolithography of Fiber-Integrated Silica Microdevices, Nano Letters 24, 9734-9742, 2024. （3D打印微纳玻璃器件）

[5] An Optical Fiber-Based Nanomotion Sensor for Rapid Antibiotic and Antifungal Susceptibility Tests, Nano Letters 24, 2980-2988, 2024. （3D打印纳米振动传感器，期刊封面）

[5] Encrypted optical fiber tag based on encoded fiber Bragg grating array, International Journal of Extreme Manufacturing 5, 035502, 2023. （激光直写加密光纤标签）

[6] 3D printed fiber-optic nanomechanical bioprobe, International Journal of Extreme Manufacturing 5, 015005, 2023. （3D打印微力探针）

[7] Four-Dimensional Printing of a Fiber-Tip Multimaterial Microcantilever as a Magnetic Field Sensor, ACS Photonics 10, 1916, 2023.（3D打印磁场传感器）

[8] Three-dimensional printed microcantilever with mechanical metamaterial for fiber-optic microforce sensing, APL Photonics 8, 096108, 2023.（主编推荐文章，3D打印力学超材料传感器）

[9] Femtosecond laser 3D printed micro objective lens for ultrathin fiber endoscope, Fundamental Research 4, 123-130, 2024. （3D打印光纤内窥镜头）

[10] Localized tilted fiber Bragg gratings induced by femtosecond laser line-by-line inscription, Optics Letters 46, 2204, 2021. （飞秒激光直写光纤光栅）

三、授权发明专利：

[1] Changrui Liao, Yiping Wang, Chi Li, Lei Xu, Optical fiber device having polymer micronano structure integrated in optical fiber and preparation method thereof, United States Patent, Shenzhen University, US11163110B2,申请日: 2019.11.04, 授权日: 2021.11.02。

[2] Changrui Liao, Yiping Wang, Chupao Lin, Ying Wang, Jun He, Whispering gallery mode resonator and manufacturing method thereof, United States Patent, Shenzhen University, US11092747B2, 申请日：2017.08.16, 授权日：2021.08.17。

[3] Changrui Liao, Yiping Wang, Chupao Lin, Yunfang Zhang, Hybrid fiber coupler and manufacturing method thereof, United States Patent, Shenzhen University, US 11054577B1, 申请日：2017.10.31, 授权日：2021.07.06。

[4] 廖常锐、王义平、李正勇、王英、何俊、朱峰，一种血细胞浓度传感器及其制备方法、测试装置，深圳大学，ZL201710695544.8，申请日：2017.08.15，授权日：2023.09.29。

[5] 廖常锐、王义平、王佳、李正勇、林初跑，微纳光纤布拉格光栅的制备系统及制备方法，深圳大学，ZL201711018309.3，申请日：2017.10.26，授权日：2023.09.26。

[6] 廖常锐、王义平、朱峰、王英、何俊、李正勇、杨天航，一种光纤布拉格啁啾相移光栅及其制作方法和设备，深圳大学，ZL201710324699.0，申请日：2017.05.10，授权日：2023.08.18。

[7] 廖常锐、王义平、林初跑、张云芳，一种混合型光纤耦合器及其制备方法，深圳大学，ZL201711045059.2，申请日：2017.10.31，授权日：2023.08.15。

[8] 廖常锐、王义平、李驰、徐磊，光纤内集成聚合物微纳结构的光纤器件及其制备方法，深圳大学，ZL201810650808.2，申请日：2018.06.22，授权日：2023.07.14。

[9] 廖常锐、王义平、杨凯明、蔡智濠，基于飞秒激光脉冲时序制备啁啾光纤光栅的方法、系统及啁啾光纤光栅，深圳大学，ZL202210564010.2，申请日：2022.05.23，授权日：2023.06.30。

[10] 廖常锐、王义平、杨天航，一种微纳光纤迈克尔逊干涉式氢气传感器及其制备方法，中国发明专利，深圳大学，ZL201710475234.5，申请日：2017.06.21，授权日：2023.03.28。

[11] 廖常锐、王义平、朱峰、王英、何俊、李正勇、杨天航，基于拉锥光纤的相移光栅及其制作方法，中国发明专利，深圳大学，ZL201710334994.4，申请日：2017.05.12，授权日：2023.03.14。

[12] 廖常锐、王义平、王侨，并行集成的光纤布拉格光栅及其制作方法、制作装置，中国发明专利，深圳大学，ZL201610114927.7，申请日：2016.03.01，授权日：2019.11.12。

四、人才计划与科研奖励：

[1] 2022年，教育部自然科学奖二等奖（2/6）

[2] 2017年，深圳市自然科学奖一等奖（2/5）

[3] 2022年，广东省光学学会光学科技奖一等奖（2/6）

[4] 2021年，国家优秀青年科学基金获得者

[5] 2018年，广东省杰出青年科学基金获得者

[6] 2017年，广东省特支计划百千万工程青年拔尖人才

[7] 2020年，深圳市优秀创新人才培养计划（深圳市优青）

[8] 2023年，入选全球前2%顶尖科学家终身科学影响力排行榜

[9] 2022年，入选全球前2%顶尖科学家终身科学影响力排行榜

[10] 2021年，入选全球前2%顶尖科学家终身科学影响力排行榜

[11] 2020年，入选全球前2%顶尖科学家终身科学影响力排行榜

[12] 2019年，入选全球前2%顶尖科学家终身科学影响力排行榜

[13] 2016年，IEEE ICOCN青年科学家（Young Scientist Award）

[14] 2023年，Light Advanced Manufacturing 优秀论文奖

[15] 2024年，全国光学与光学工程博士生学术联赛，全国百强导师

[16] 2014年，深圳市海外高层次人才B类

[17] 2015年，深圳大学“荔园优青”

[18] 2021年，深圳大学“优秀硕士生导师”

[19] 2019年，深圳大学“优秀硕士生导师”

[20] 2022年，深圳大学科研工作突出贡献奖（自然科学类）

[21] 2021年，深圳大学物理与光电工程学院院长特别奖

五、指导研究生获奖：

[1] 邹梦强，王大珩光学奖学生奖

[2] 邹梦强，2023年度深圳大学“十佳博士学位论文”

[3] 黄浩强，2024年全国光学与光学工程博士生学术联赛 全国百强二等奖

[4] 熊 聪，硕士研究生国家奖学金

[5] 张云芳，硕士研究生国家奖学金

[6] 李 驰，硕士研究生国家奖学金

[7] 林初跑，硕士研究生国家奖学金

[8] 王 侨，硕士研究生国家奖学金

[9] 李正勇，硕士研究生国家奖学金

[10] 江尚奔，深圳大学优秀博士支持计划

[11] 王裕鑫，深圳大学优秀博士支持计划

[12] 黄浩强，深圳大学优秀博士支持计划

[13] 邹梦强，深圳大学优秀博士支持计划

[14] 杨凯明，深圳大学优秀博士支持计划

[15] 李正勇，深圳大学优秀博士支持计划

[16] 王 佳，深圳大学优秀研究生奖学金

[17] 林初跑，深圳大学优秀研究生奖学金

[18] 杨凯明，深圳大学优秀研究生奖学金

[19] 王 侨，深圳大学优秀研究生奖学金

[20] 李正勇，深圳大学优秀研究生奖学金

[21] 李 驰，深圳大学牛憨笨奖学金

[22] 李正勇，深圳大学牛憨笨奖学金

[23] 邹梦强，腾讯创始人创新奖学金

[24] 李正勇，腾讯创始人创新奖学金

[25] 杨凯明，腾讯创始人创新奖学金

[26] 李正勇，深圳大学优秀硕士学位论文奖

[27] 汪发美，中国光纤传感大会（OFSC 2023）优秀Oral评选一等奖

[28] 邹梦强，中国光纤传感大会（OFSC 2022）优秀Poster奖